Установка вакуумного ионно-плазменного напыления TiN/AlTiN/TiCN/CrN/AlCrN/ZrN/ZrCN «VMT-D900».
- Комплектация. (возможна поставка в виде моноблока)
- Покрытия сертифицированы в соответствии с международными стандартами.
- Выбор покрытия (универсальность установки)— переключение материалов напыления в один клик.
- Автоматизация процессов — для работы не требуется квалифицированный специалист. Возможность ручного управления.
- Высокоскоростная откачная система.
- Возможность использования 5 магнетронов и ионного источника.
- Минимальные эксплуатационные расходы
- Производство РФ — собственные технологии, отечественные комплектующие и сырьё.
- Тех. поддержка и сервис. Обучение.
- Гарантия 3 года.
Основные характеристики оборудования «VMT-D900».
| № | Наименование параметра и единица измерения | Величина |
|---|---|---|
| 1 | Время цикла нанесения покрытий, мин., не более | 60 |
| 2 | Количество планарных дуговых испарителей, шт. Мишени | 3-6 |
| 3 | Установленная мощность, кВт | 30 |
| 4 | Средняя потребляемая мощность, кВт | 18 |
| 5 | Расход охлаждающей воды, м³/ч | 2 |
| 6 | Количество обслуживающего персонала, чел | 1 |
| 7 | Габаритные размеры установки, мм | 2000х2000х2000 |
| 8 | Масса установки, кг, не более | 2000 |
| 9 | Газ – аргон, азот. ОСЧ | 2 |
| 10 | Средняя загрузка, шт. (сверло, фреза) | 100 |
| 11 | Средняя стоимость цикла без учета ЗП, аренды, руб. | 800 |
| 12 | Расход мишеней (каждая) – количество циклов | 200 |
| 13 | Скорость осаждения покрытия, мкм/ч | 2-5 |
Блоки питания МРС и ионного источника, работают в импульсном режиме и имеют защиту от короткого замыкания и систему гашения микродуг.
Автоматическая цифровая многоканальная система включает в себя цифровой ионизационно-термопарный вакуумметр с непрерывным диапазоном измерения давления и автоматической дегазацией датчиков, а также цифровой натекатель газа, содержащий два или более встроенных прецизионных регуляторов расхода газа с теплометрическими измерителями расхода газа, что позволяет прибору работать в режиме автономного напуска заданных расходов газа, не зависимо от входного давления.
Получение наноструктурированных функциональных покрытий практически любого состава и структуры в автоматизированном режиме.
Новизна совмещения методов магнетронного распыления и дугового испарения в одном технологическом цикле, а также появляющейся при этом принципиально новой технологической схемы является интенсификация процессов физико-химического взаимодействия компонентов при формировании многокомпонентных пленок, увеличение скорости нанесения и качества формируемых пленок, а также возможность получения практически любых многокомпонентных пленок без предварительного синтеза исходных многокомпонентных соединений с обеспечением заданной стехиометрии многокомпонентного покрытия, а также управления составом пленки в процессе ее формирования.
| Наименование метода | Условия реализации метода | Основные виды покрытий | Преимущества метода |
|---|---|---|---|
| Вакуумно-дуговое испарение |
Рабочая среда: вакуум 10 ..102 Па. Реактив, газы N2, 02, СН<; Р = 0,01-1 Па, Т = 300...600°С. Испарение металлов в катодном пятне дугового разряда. Осаждение покрытий с высокой степенью ионного воздействия |
Металлические покрытия: Ti, Zr, Hf, Cr, Та, Ni, Co,Si, MCrAlY (M=Ni, Co) Реактивные покрытия: TiN, ZrN, CrN, TiC, TiCN, ZrCN, TiAIN, AlCrN, Ti02/Zr02 Нанокомпозиты: TiAIN/SijN4, AICrN/Si3N4. |
Высокая скорость осаждения. Относительная простота технической реализации. Эффективная ионная очистка изделий перед нанесением покрытий. |
| Магнетронное распыление |
Рабочая среда: вакуум 10 ...102 Рабочая среда: чистые газы Аг Реактив, газы N2, 02, СН<; Р = 0,05-’ Па, Т = 60...60003С Ионное распыление металлов в магнетронном разряде |
Полный спектр металлических покрытий: Al, Ag, Au, Cu, Zn, Sn, CdTi, Zr, Hf, Cr, Та, Ni, Co, Si, MCrAlY (M=Ni, Со) и др. Реактивные покрытия: TiN, ZrN, CrN, TiC, TiCN, ZrON, TiAIN, AICrN,TiBNCrAITiYN, TiO" Zr02, AI203, SiO-. Нанокомпозиты: 3D: TiAIN/SijN*, TiN/BN, AICrN/SiN" ZrN/ Cu, ZrOj/AljOj. 2D: TiN/NbN, TiN/CrN, TiN/AIN, CrN/AIN, TiN/CN. |
Плотная микро- (нано-) кристаллическая структура металлических и керамических покрытий при полном отсутствии капельной фазы Возможность нанесения покрытий на термочувствительные материалы при низких температурах Наиболее широкий спектр покрытий различного назначения; высокая скорость осаждения; высокие свойства покрытий |
Индивидуальные решения — подберем оптимальный тип покрытия под ваш инструмент.
Лабораторные тесты — предоставим образцы с покрытием для испытаний.
Изображение поверхностей и скола получаемых плёнок.
Применение многослойных упрочняющих покрытий на режущем инструменте.
Значение микротвердости 3620
HV Дифрактограммы образца, полученные при ассиметричной съемке при различных углах падающего излучения
